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科技廠防震新高度!陽明交大助力竹科晶圓廠抗震
2024-04-19 17:00 作者 / Kelvin![陽明交大土木系教授王彥博在國際會議談台灣科技廠的抗震新技術。(圖/陽明交大提供)](https://storageendpoint.azureedge.net/provoice/bigmedia/article/df707e20-8af0-4fe8-b18f-45456654d44d.png)
陽明交通大學今表示,4月3日芮氏規模7.2的花蓮地震對多家科技廠造成影響。然而,陽明交通大學土木工程系暨防災與水環境研究中心自2016年起協助半導體廠開發與安裝防震裝置,並在竹科完成12吋晶圓廠無塵室的天花板耐震補強工程,這次地震證明了其出色的防震性能,為「護國群山」提供可靠支援。
2016年高雄美濃發生芮氏規模6.6的強震,對南台灣高科技產業造成超過千億元的損失,顯示國內科技廠存在防震不足的問題。陽明交大土木系暨防災與水環境研究中心應半導體廠的請求,開發了一系列針對科技廠易受震損設備的防震技術。
這些技術包括垂直爐管、自動化倉儲系統、天花板、庫板及推車與貨架等設備的防震技術。土木系教授王彥博指出,科技廠的敏感製程設備在地震中容易受損,尤其是自動化倉儲系統。因此,陽明交大土木系團隊開發的防震技術經過實驗驗證後,逐步在廠內實施。
例如,消能減震控制的自動化倉儲系統可大幅降低振動反應,防止晶圓盒因地震而掉落。此外,對於無塵室天花板的防震需求,陽明交大團隊協助科技廠安裝消能減震裝置,並在竹科完成12吋晶圓廠無塵室的天花板耐震補強工程,展現了卓越的防震性能。
王彥博則說,透過控管主要震害損失來源,並配合策略性產業保險規劃,科技廠可以大幅降低震害風險,提高抗震韌性,並在最短時間內恢復產能,將可能的損失降至最低。